5100 Series KOFLOC Việt Nam
Nhà cung cấp: ANS VIỆT NAM
Hãng sản xuất: KOFLOC VIET NAM
Ứng dụng sản phẩm: Automotive
Mr Tính
anhnghisonhcm5100 Series KOFLOC Việt Nam
1. Giới thiệu thiết bị
KOFLOC 5100 Series là dòng mass flow controller (MFC) cao cấp, sử dụng công nghệ cảm biến nhiệt (thermal mass flow) để đo và điều khiển lưu lượng khí với độ chính xác cao.
Thiết bị được thiết kế với cấu trúc không mối hàn (weldless) và metal seal, giúp giảm rò rỉ gần như tuyệt đối, đảm bảo độ ổn định và độ sạch khí – đặc biệt phù hợp cho các ứng dụng trong bán dẫn và khí tinh khiết.
Ngoài ra, 5100 Series tích hợp van điện từ (normally closed) và hệ thống điều khiển vòng kín, cho phép kiểm soát lưu lượng chính xác và phản hồi nhanh.
2. Thông số kỹ thuật
| Thông số | Giá trị |
|---|---|
| Loại thiết bị | Mass Flow Controller (MFC) |
| Dải lưu lượng | 1 SCCM ~ 20 SLM (N₂ equivalent) |
| Độ chính xác | ±1% F.S. |
| Độ lặp lại | ±0.2% F.S. |
| Thời gian đáp ứng | ≤ 1 giây |
| Nguyên lý đo | Thermal mass flow |
| Tín hiệu điều khiển / ngõ ra | 0 – 5 VDC |
| Dải điều khiển | 2 – 100% F.S. |
| Áp suất làm việc | ≤ 300 kPa |
| Loại van | Van điện từ thường đóng (Normally Closed) |
| Kết cấu | Metal seal, không mối hàn |
| Kết nối điện | D-sub 9 pin (chuẩn KOFLOC) |
| Khí sử dụng | N₂, Air, H₂, He, Ar, O₂, CO₂… |
